OHB Damper

      OHB(Over Head Buffer)的安裝是為配合製程於自動化傳輸

之暫存與調配需求額增設之設備，增設之地點因須配合AMHS軌

道及製程設備之需求且因侷限於無塵室之空間限制，而必須安裝

於無塵室之天花板下之懸吊設備。

       正因如此，無塵室環境、設備運轉、傳輸設備等之振動源分

布在無塵室的各個角落，加上OHB系統為一懸吊暫放裝置，懸吊

結構本身對於震動之反應尤為明顯，而製程中產品(晶圓)藉由晶舟

於每個製程中傳送流轉需要在一穩定保護有效率之保護中流轉，故震動之發生對於產品傳輸及暫存為一影響良率之重大因素，

過度之震度會敲擊或磨損產品，而OHB之取放會因為過度震動而無法有效率之正常存取，故須針對震動的抑制及消減採取積極之

作為，而樂豐麒提出之解決途徑-OHB damper單元之增設，即是在既有存在之系統內，找到解決震動之方法，減少既有設備之更

動，更無須更改軟體，快速更換減少改造時之不便。

General Specification

* : Final vibration spec need to discuss with customer as OHT system difference.